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电子级水

  • 标准编号:GB/T 11446.1-2013
  • 发布日期:
  • 实施日期:
  • 下载地址

GB /T 11446 的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检测规则。本部分使用与电子和半导体工业永高纯清洗用水。

电子级水electronic grade wat water指的是,电子和半导体工艺过程中所用的高纯水。

gbt11446.1-2013

电子级水的分类

Ⅰ级 电子级水标记为: EW-Ⅰ 。

Ⅱ级 电子级水标记为: EW- Ⅱ。

Ⅲ级 电子级水标记为: EW -Ⅲ。

Ⅳ级 电子级水标记为: EW -Ⅳ。

电子级水中电阻率、钠离子、全硅(

其他重要内容

电子级水的技术指标

电子级水中电阻率、钠离子、全硅(以二氧化硅计) 为交收检验项目。

在用水终端采样,检验后检验结果如有一项或一项以上不合格时,应再次采样经行检验,如仍不合格,则该批不合格,应提出改进措施直到水质合格。


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